Mass flow controller

S300

I prodotti della serie S300 sono controllori di portata massica di gas utilizzati soprattutto nella nella produzione di pannelli fotovoltaici e semiconduttori. La serie S300 ha una buona resistenza all'inquinamento, alla polvere e alla corrosione, oltre ai vantaggi di una facile manutenzione, un elevato rapporto costo-prestazioni e tempi di consegna ridotti. Questi prodotti hanno la certificazione di sicurezza intrinseca T4 ad alta resistenza alle esplosioni e i certificati di calibrazione di prima classe dell'Istituto di Metrologia, TÃœV-EMC, CE e UE.

Sulla parte superiore i misuratori presentano la seguente configurazione:

• Interfaccia di comunicazione digitale RJ45 (Protocollo EtherCAT personalizzabile o RS485).

• Interruttore di codifica indirizzo

• Display

• Indicatore di stato

• Inoltre, sul lato è presente un'interfaccia per l'alimentazione M8, intuitiva e facile da usare, che consente agli utenti di monitorare e controllare il flusso in loco.

Per soddisfare le diverse esigenze applicative, gli S300 sono disponibii in tre versioni:

• S300 · Versione EtherCAT

Tipo di connettore: connettore M8 (sul lato sinistro)

Doppie porte di rete RJ45 (sulla parte superiore)

Metodo di comunicazione: EtherCAT

Schermo: situato sulla parte superiore del prodotto

• S300 – Versione D/A

Tipo di connettore: doppie porte di rete RJ45 (sul lato sinistro)

Connettore DB9M (sulla parte superiore)

Metodi di comunicazione: RS485, 0-5V, 4-20mA

Schermo: nessuno

• S300 - Versione Profibus

Tipo di connettore: connettore M8 (sul lato sinistro)

Connettore DB9F (sulla parte superiore)

Metodo di comunicazione: Profibus DP

Per informazioni specifiche, si prega di contattare la nostra azienda.

S500

I prodotti della serie S500 hanno come sensore di flusso con un algoritmo di compensazione della temperatura è in grado di realizzare un controllo rapido del flusso di gas, in un intervallo di flusso compreso tra 0,1 cc/min e 20 L/min.

Il prodotto può essere dotato di touch screen e porta di alimentazione indipendente, il che lo rende perfettamente adatto a diversi ambienti applicativi come semiconduttori, rivestimento sottovuoto, laboratorio, fotovoltaico, analizzatori, ecc.

La parte frontale è dotata di un display a colori touch, mentre la parte superiore è dotata di un display digitale luminoso e di un interruttore per la codifica degli indirizzi.

È dotato di un potente computer host SmartFlow, supporta collegamenti multipli ed è utile per il monitoraggio e la configurazione delle apparecchiature.

S700

I regolatori di flusso digitali della serie S700 utilizzano materiale 316LSS EP. La rugosità della superficie interna è Ra < 0.2, conforme agli standard SEMI E17, E18 ed E28. Ha un sensore di pressione ad alta precisione ed un grado di rilevamento del regolatore di flusso pari a quello di un semiconduttore, queste funzionalità garantiscono elevata precisione, bassa deriva dello zero ed eccellente ripetibilità.

I prodotti della serie S700 sono progettati e realizzati in stretta conformità con gli standard SEMI, resistenti alle interferenze elettromagnetiche, senza degrado delle prestazioni e senza effetti termici elettromagnetici. Sono disponibili molteplici metodi di comunicazione, perfettamente adatti ai nodi di processo a 7 nm, 14 nm e superiori in apparecchiature di processo per semiconduttori come Etch, ALD, CVD e altre.

DF500

Il misuratore/regolatore di portata massica di gas a pressione differenziale ad alta precisione serie DF500, progettato e prodotto rigorosamente secondo gli standard SEMI, è conforme alle normative SEMI E17, E18 ed E28. Il prodotto utilizza materiale 316L SS EP, che raggiunge una rugosità superficiale di Ra < 0.2 interna. Impiega un algoritmo avanzato di compensazione dinamica delle fluttuazioni di pressione per garantire la stabilità del flusso nell'utilizzo con canali multi-gas. La tecnologia della valvola proporzionale in ceramica piezoelettrica realizza una regolazione del flusso a con controllo ogni 0.1 s ottenendo un controllo rigoroso delle fluttuazioni di flusso, con migliori prestazioni in termini di interferenze elettromagnetiche, nessuna degradazione delle prestazioni e nessun effetto termico elettromagnetico.

I prodotti della serie DF500 offrono elevata precisione, stabilità e controllo accurato, risultando applicabili a processi di produzione di semiconduttori avanzati come quelli a 7 nm, 14 nm e 28 nm, contribuendo così all'industria nazionale dei semiconduttori.

E-P100

Il prodotto della serie E è un regolatore di flusso di massa di gas economico, preciso e affidabile. È dotato di un chip di rilevamento del flusso di gas di ultima generazione, una valvola proporzionale elettromagnetica di alta gamma e una base del circuito del gas in acciaio inossidabile 316L SS. Queste caratteristiche, unite ad un circuito di elaborazione digitale ad alta velocità e un algoritmo di compensazione della temperatura, consentono un controllo rapido del flusso di gas in un intervallo compreso tra un minimo di 0.1 cc/min e un massimo di 20 L/min. Questo prodotto può essere utilizzato in distributori di gas, analizzatori, rivestimenti sottovuoto, saldatura e altri scenari applicativi. Per soddisfare le diverse esigenze applicative, offriamo due versioni, E (standard) ed E-P100 (con compensazione della temperatura), tra cui i clienti possono scegliere.

UT

Le loro dimensioni e il loro peso sono ridotti rispettivamente a 1/6 e 1/5 rispetto ai prodotti convenzionali, risultando quindi, adatti agli strumenti analitici di fascia alta come spettrometri di massa, spettrometri, gascromatografi e distributori di gas. Il prodotto si avvale di un chip di rilevamento del flusso di gas di ultima generazione, di una valvola proporzionale elettromagnetica di alta gamma e di una base del circuito del gas in acciaio inossidabile 316L. Queste funzionalità combinate con un circuito di elaborazione digitale ad alta velocità e un algoritmo di compensazione della temperatura può raggiungere un controllo rapido del flusso di gas entro un intervallo di flusso minimo di 0.1 cc/min e massimo di 50 L/min.

FLOW-IGS

La serie FLOW-IGS è stata sviluppata specificamente per i clienti che cercano la massima efficienza in termini di spazio nella pannellizzazione dei gas di processo. Può essere personalizzata per soddisfare le esigenze del cliente installando uno o più misuratori/regolatori di portata massica o moduli di sensori di pressione su un sistema di binari di montaggio compatto, leggero, ma al contempo robusto e durevole, combinato con valvole di controllo, valvole di intercettazione, camere di miscelazione, filtri o qualsiasi altro modulo funzionale. Questo sistema modulare offre una grande flessibilità in termini di modifiche e manutenzione. I moduli funzionali sono installati nella parte superiore, il che ne facilita la sostituzione senza la necessità di smontare l'intero gruppo di moduli.