Manometri a diaframma capacitivo per il vuoto

Manometri a diaframma capacitivo per il vuoto

La serie V100 è composta da manometri a diaframma capacitivo per il vuoto, ad alta precisione.

Possono essere utilizzati in settori come il fotovoltaico, il rivestimento sottovuoto, MPCVD e i semiconduttori.

Il manometro della serie V100 utilizza come diaframma un foglio capacitativo ceramico.

Il sensore ceramico ultrapuro anticorrosione è realizzato in materiale ceramico di allumina Al2O3 ad altissima purezza (99,9%). Garantisce prestazioni stabili anche in ambienti di produzione difficili. La pressione viene misurata in base alla variazione di capacità tra il diaframma e l'elettrodo fisso. È caratterizzato da risposta rapida, elevata resistenza al sovraccarico, ampio campo di misura e alta precisione.


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